RFプラズマ処理のRF電源と供給電力  (RＦ Power Generator and Pwer Supply)

本ページは「インピーダンス」を理解し電子回路を読み、高周波(RF：Radio Frequency)の 　　　　　　　　伝達はどの様な動作で「RF Power」は供給されるかを高周波入門的に解りやすく解説したい、 　　　　　　　　または何かのヒントに出来ればと思い記す。

＊　本ページはまだ未完成のため一部削除および保護しています。 　　　　 　 　　 ＊　本ページおよびリンク先の情報を元に障害・損害に関し、管理者は責任を持ちかねます。

１．インピーダンスの概要 ２．インピーダンスの応用 SWR dB 換算 v5E リンク

Link	【１】　高周波の基礎　　　　　＊リンク先は「Excel 2003」で作成	Version	Size
RF01	１．　はじめに　（概要）	v.05E11	82kB
RF02	２．　高周波用語	v.05E11	100kB
RF03	３．　ＲＦ電力の反射とは	v.05E11	71kB
RF04	４．　スミス・チャート　（Smith Chart）	v.05E11	145kB
RF05	５．　伝送回路．　（電力伝達の条件）	v.05E11	132kB
RF06	６．　Ｓ・パラメータ　（電子回路網をブラックボックスとして解析できる）	v.05E11	173kB
RF07	７．　RFネットワーク・アナライザ測定　（Ｓ・パラメータ測定器）	v.05E11	191kB
RF08	８．　高周波電力計測の不確かさ．　（電力計測機器の応用）	v.05E11	062kB
RF09	９．　反射係数：反射波：反射波電力　ｄB　ｄBm　換算算出表．	v.05E11	185kB
RF10	１０．　参考情報　・　参考文献　　（高周波）	v.05E11	033kB

 

Link	【２】　ＲＦ電源とインピーダンス整合器 　 ＊ 工事中	Versiom	Size
RF11	１１．　ＲＦプラズマ処理装置の高周波応用．　（ブロック図）	v.05G01	054kB
RF12	１２．　高周波電源に必要な仕様書．	v.05	00kB
RF13	１３．　高周波電源のソース・マッチ．　（不整合負荷出力電力不確かさ特性）	v.05	00kB
RF14	１４．　高周波電源のパワーマージン．　（不整合負荷出力電力特性）	v.05	00kB
RF15	１５．　インピーダンス整合器に必要な仕様書．	v.05	00kB
RF16	１６．　損失のあるインピーダンス整合器の測定方法．	v.05	00kB
RF17	１７．　ＲＦ電力伝達損失とプラズマ処理電力、パラメータの測定方法．	v.05	00kB
RF18	１８．　高速度・高角度インピーダンス整合器の電子回路の考察．	v.05	00kB
RF19	１９．　新世代インピーダンス整合器のＡプロセス制御の考察．	v.05	00kB
RF20	２０．　参考情報　・　参考文献　　（半導体）	v.05G01	43kB

アルバム �@Mismatch カウンタ 更新履歴 メール

インピーダンス　　Impedance　　インピーダンス整合器　　整合インピーダンス　　損失のある　　Lossy　　Impedance Matching Networks　　整合回路　　高周波　　Radio Frequency　　RF Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ　　RF Power　　高周波電力計測　　影像インピーダンス　　Image impedance　　S-parameter　　プラズマ処理　　Plasma Chamber　　プラズマインピーダンス　　Plasma impedance　　ロードプル　　Ｌｏａｄ　mａｔｃｈ　　アドバンスト・プロセス・コントロール　　APC　　Advanced Process Control　　Uncertainty　　　　S-parameter　　S-NAP (MEL.Inc) 　　Network Analyzer